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    SPM600系列半導體參數分析儀

    簡  述:
    SPM600系列半導體參數分析儀是一款專用于半導體材料光電測試的系統。系統集成高精度光譜掃描、光電流掃描以及光響應速率測試。40um探測光斑,實現百微米級探測器的絕對光譜響應度測量。超高穩定性光源支持長時間的連續測試,是半導體微納器件研究的優選。
    品  牌:
    Zolix
    產品型號:
    • SPM600

    SPM600 系列半導體參數分析儀是一款專用于半導體材料光電測試的系統。其功能全面,提供多種重要參數測試。系統集成高精度光譜掃描,光電流掃描以及光響應速率測試。40μm 探測光斑,實現百微米級探測器的絕對光譜響應度測量。超高穩定性光源支持長時間的連續測試,豐富的光源選擇以及多層光學光路設計可擴展多路光源,例如超連續白光激光器,皮秒脈沖激光器,半導體激光器,鹵素燈,氙燈等,滿足不同探測器測試功能的要求。是半導體微納器件研究的優選。

     

    功能:

    ■ 光譜響應度
    ■ 單色光/變功率IV;
    ■ 不同輻照度IT曲線(分辨率200ms)
    ■ 不同偏壓下的IT曲線
    ■ LBIC,Mapping
    ■ 線性度測試
    ■ 響應速率測試
    ■ 瞬態光電壓
    ■ 瞬態光電流

    光源選項

    卓立漢光根據樣品光譜相應范圍選擇適合的光源,如EQ 光源,氙燈光源,氙燈溴鎢燈復合光源。

    EQ光源

    特點:
    ■ 光譜范圍寬:190-1700nm寬光譜范圍;
    ■ 光源本身發光點小,百微米級別;
    ■ 紫外波段亮度高;
    ■ 壽命長,理論壽命可達9000h;
    ■ 體積小,重量輕;散熱好;
    氙燈光源
    特點:

    ■ 光譜范圍寬:250-1700nm寬光譜范圍;
    ■ 光源本身發光點較小,mm級別;
    ■ 總功率大,亮度高;適合紫外-可見-近紅外光譜測試;
    ■ 燈泡更換簡單,成本低;
    氙燈鹵素燈雙光源

    特點:

    ■ 光譜范圍:250-2500nm
    ■ 適合紫外、可見、近紅外,且可見、近紅外波段光譜平滑
    ■ 燈泡更換簡單,成本低。
    數采選項
    測試案例
     

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